KB体育登录入口奥普光电：光栅尺是半导体设备的部件之一其精度要求取决于整机的技术

　　KB体育登录入口奥普光电：光栅尺是半导体设备的部件之一其精度要求取决于整机的技术指标需求同花顺300033）金融研究中心03月04日讯，有投资者向奥普光电002338）提问， 董秘KB体育，您好！2023年您回复超精尺才可以用于DUV和EUV光刻机KB体育，我想问问，DUV光刻机和EUV光刻机相差那么大KB体育，必须都用超精尺？难道高精尺精度可以达到2nm，为啥不能用于DUV光刻机？而且超精尺研发需要数年时间，要实现根本性国产替代那不是希望还很遥远？

　　公司回答表示，光栅尺是半导体设备的部件之一，其精度要求取决于整机的技术指标需求。我们会加强研发、努力攻关，满足整机厂家需求。感谢关注。